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申购单主题: | 平移台转台 | 申购单位: | ****点击查看 | 报价类型: | 国内含税价 |
使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2024-12-25 18:35:11 | ||
申购备注: | 谭文海/安正杰 |
平移台转台 | 里尔光机****点击查看公司 | LOXY6065Z60 | 1 |
规格 |
1、真空度兼容:10^(-5)帕; 2、能够组合成6自由度运动; (1) 沿X/Y轴方向的平移自由度:0.5um微分头,台面尺寸:60×60mm,行程:13mm,负载≥10kg; (2) 沿Z轴方向的平移自由度:0.5um微分头,台面尺寸:60×60mm,行程:10mm,负载≥5kg; (3) 绕X/Y轴的旋转自由度:最小刻度1°,最小读数6′(参考)。最小调整量3角秒(参考),台面尺寸:65×65mm,行程:10mm,负载:5kg; (4) 绕Z轴的旋转自由度:粗调360°,精调0.1°(参考),台面尺寸60*60mm,负载≥5kg。 |