电子与信息工程学院(微电子学院)
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申购单主题: | 五轴位移台 | 申购单位: | ****点击查看****点击查看学院) | 报价类型: | 国内含税价 |
使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2025-09-11 16:38:24 | ||
申购备注: |
五轴位移台 | **齐维 | QW-25-93 | 1 |
规格 |
接口CF100法兰;所有组件可耐最高烘烤温度:150℃;工作气压:1E-10 mbar至1 bar,真空漏率:<1E-10 mbar.l.s-1;三维位移台:XY 移动范围 ±12.5 mm,驱动精度 10 微米,Z 移动范围 ±25 mm,驱动精度 100 微米;自转:旋转角度±180°,驱动精度<0.1°;倾角:±30°,驱动精度<0.1°;手动驱动 五轴电子源固定件三套;电子源固定件与五轴之间绝缘性能良好,五轴腔体内部长度25cm;五轴密封性良好,不额外增加抽气泵来保证漏率; |