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| 高负载Z向位移台 | 1.0/个 | / | / | 运动轴：Z 单轴 Z 行程：5 mm 空载最大速度：200 mm/s X 向直线度误差（最大）：±0.6 μm Y 向直线度误差（最大）：±0.5 μm 绕 X 俯仰角误差（最大）：±10 μrad 绕 Y 偏摆角误差（最大）：±10 μrad 最小位移（典型）：0.035 μm 校准后定位精度（典型）：±0.3 μm 双向重复定位精度（典型）：0.4 μm 传感器类型：增量式直线光栅尺 信号规格：正弦 / 余弦，1Vpp 信号周期：20 μm 系统分辨率：5 nm 驱动类型：音圈直驱 标称电压：60 V 额定电流 RMS（典型）：2.26 A 峰值电流 RMS（典型）：9.9 A 持续驱动力（典型）：40 N 峰值推力：180 N 力常数：27.6 N/A 电机常数（典型）：15.4 N/√W 时间常数：0.32 ms 相间电阻（典型）：1.6 Ω 相间电感：4.89 mH 相间反电动势（最大）：13.8 V●s/m 100% 占空比线圈功耗：9.9 W 货期：4个月 | 按行业标准提供服务 | ||
| 气浮转台 | 1.0/个 | / | / | 运动轴：θZ 单轴旋转 旋转行程：360° 空载最高转速：500rpm 径向跳动 X（最大）：±0.075μm 轴向跳动 Z（最大）：±0.038μm 偏摆误差 Wobble（最大）：±1μrad 定位精度（校准后典型）：±8μrad 双向重复定位精度：4μrad 编码器类型：增量式 Sin/Cos 光栅 编码器信号周期：31488 角分辨率：0.05μrad 原点信号：每转 1 路差分脉冲，峰峰值 1V 驱动形式：无铁芯无槽三相力矩电机 额定电压：48V 峰值电压：80V 额定电流 RMS：4.5A 峰值电流 RMS：13.9A 持续扭矩（顺 / 逆时针）：2.8N●m 峰值扭矩（顺 / 逆时针）：8.5N●m 扭矩常数：0.66N●m/A 相间电阻：4.5Ω 相间电感：0.6mH 反电动势：80V/kRPM 轴承结构：磁预载空气轴承 X/Y 向允许推力：80N Z 向允许推力：320N θX/θY 允许倾覆扭矩：12N●m 空载动子质量：3600g（±5%） 空载转动惯量：21580kg●mm2（±20%） 整机总重：7500g（±5%） 材质：硬膜阳极氧化铝，不锈钢安装紧固件 货期：4个月 | 按行业标准提供服务 |
基本情况
上次中标企业: 上海****公司
潜在竞争对手: 共
42
个, 其中与甲方合作关系紧密的
3 家
