机械工程学院磁控溅射设备采购项目竞价成交公告

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发布于 2024-10-17

沈阳****公司

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****点击查看学院采用网上竞价方式开展的****点击查看磁控溅射设备采购项目，项目编号：****点击查看，报价截止时间为2024-10-15 16:00:00。现将本项目竞价结果公布如下：一、项目编号：****点击查看二、项目名称：****点击查看磁控溅射设备采购项目三、项目预算：85000元四、成交信息供应商名称：****点击查看供应商地址：**市**区**街35号成交金额：83200元五、竞价成交规则在满足用户需求的前提下，按“价低者得”原则确定成交供应商。报价相同的，按参数最优者确定；报价相同且参数相同的，按报价时间先后顺序确定。六、竞价供应商报价明细及总报价

序号：1供应商名称：****点击查看总价：83200元报价时间：2024-10-15 11:18:37

序号	名称	品牌/型号	数量(单位)	单价(元)	应标技术参数
1	磁控溅射腔体	品牌：无；型号：VCT300	1/套	25400	高真空度，多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开盖，使得换靶更加容易。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 4、RF300法兰接口：1个（用装磁控靶和靶挡板）； 5、样品台法兰接口：1个（用装样品台）； 6、CF25法兰接口：1个
2	真空机组	品牌：无；型号：FF150	1/套	41400	高效能泵组，稳定抽速，快速达真空，低噪音。机组包含： 1、复合分子泵及变频控制电源：1台 2、机械泵：RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀：1台 4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 5、CC150电动闸板阀：1台 6、DN40旁抽角阀：1台 7、压差式充气阀：1台
3	加热样品台	品牌：无；型号：DN100	1/套	16400	高精度温控，均匀加热面，快速升温，稳定控温；安装尺寸为4英寸的样品可定位自传，也可实现多靶共溅射；基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调；基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调转动速度。

序号：2供应商名称：****点击查看学院****点击查看**公司总价：83500元报价时间：2024-10-15 10:27:17

序号	名称	品牌/型号	数量(单位)	单价(元)	应标技术参数
1	磁控溅射腔体	品牌：无；型号：VCT300	1/套	25500	高真空度，多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开盖，使得换靶更加容易。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 4、RF300法兰接口：1个（用装磁控靶和靶挡板）； 5、样品台法兰接口：1个（用装样品台）； 6、CF25法兰接口：1个
2	真空机组	品牌：无；型号：FF150	1/套	41500	高效能泵组，稳定抽速，快速达真空，低噪音。机组包含： 1、复合分子泵及变频控制电源：1台 2、机械泵：RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀：1台 4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 5、CC150电动闸板阀：1台 6、DN40旁抽角阀：1台 7、压差式充气阀：1台
3	加热样品台	品牌：无；型号：DN100	1/套	16500	高精度温控，均匀加热面，快速升温，稳定控温；安装尺寸为4英寸的样品可定位自传，也可实现多靶共溅射；基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调；基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调转动速度。

序号：3供应商名称：****点击查看公司总价：85000元报价时间：2024-10-15 10:59:56

序号	名称	品牌/型号	数量(单位)	单价(元)	应标技术参数
1	磁控溅射腔体	品牌：无；型号：VCT300	1/套	26000	高真空度，多靶位设计。真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体打开方式采用上顶开盖，使得换靶更加容易。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1、RF100法兰接口：1个（观察窗口）； 2、CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）； 4、RF300法兰接口：1个（用装磁控靶和靶挡板）； 5、样品台法兰接口：1个（用装样品台）； 6、CF25法兰接口：1个
2	真空机组	品牌：无；型号：FF150	1/套	42000	高效能泵组，稳定抽速，快速达真空，低噪音。机组包含： 1、复合分子泵及变频控制电源：1台 2、机械泵：RVP-9,9L/S 1台 3、DN40电动截止阀：1台 4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 5、CC150电动闸板阀：1台 6、DN40旁抽角阀：1台 7、压差式充气阀：1台
3	加热样品台	品牌：无；型号：DN100	1/套	17000	高精度温控，均匀加热面，快速升温，稳定控温；安装尺寸为4英寸的样品可定位自传，也可实现多靶共溅射；基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C（抗氧化），由热电偶闭环反馈控制，可控可调；基片自转由调速电机驱动，0—30转/分连续可调转动速度。

七、公告期限自本公告发布之日起1个工作日。八、合同签订成交供应商应在竞价成交公告发布之日起3个工作日内，按照竞价成交公告确定的品牌、型号、技术服务指标、价格、数量、交货期限等事项，参照校方合同模板与采购人协商合同事宜。九、其他补充事宜无十、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：聂老师地址：****点击查看大学路1****点击查看学院联系方式：159****点击查看53052.项目联系方式项目联系人：陈老师电话：0769-****点击查看1688、0769-****点击查看1802

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