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历史招中标信息39872条
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| 电子束光刻系统机台 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻系统机台 |
| 预算金额： | 1000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看9900 其他电子和通信测量仪器 |
| 采购需求概况 ： | 电子束光刻（通常缩写为电子束光刻、EBL）是一种利用扫描电子聚焦束以在被称为抗蚀剂（曝光）的电子敏感膜覆盖的表面上绘制自定义形状的设备，该设备在微纳电子器件制作中起着关键作用。功能需求：系统最大样品尺寸应大于等于6英寸，单束电子束最小束斑直径小于等于3nm。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
基本情况
上次中标企业: 上海****公司
潜在竞争对手: 共
38
个, 其中与甲方合作关系紧密的
3 家
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