真空磁浮微动运动台
zycgr210****点击查看22025年4月政府采购意向-真空磁浮微动运动台 详细情况
| 真空磁浮微动运动台 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | zycgr****点击查看1302 |
| 采购项目名称： | 真空磁浮微动运动台 |
| 预算金额： | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看2402 |
| 采购需求概况 ： | 在真空系统（可支持1e-4pa以下工作）开发一套高精度宏动（二维）+磁浮微动（六维）的纳米级运动台，该运动台含有一个工件台模块载荷20kg配备6寸吸盘和LSI探测模块（载荷15kg），需配备水冷接口实现优于±10mk温控，具体精度见后续材料 。采购标的需在2025年9月完成离线测试，离线测试后负责货运、安装、培训和售后等服务，并对操作人员进行操作安全培训，并负配合在线装调集成 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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