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电子束蒸发台 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 电子束蒸发台 |
预算金额: | 193.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0300 电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 子束蒸发台是集成电子束蒸发的物理气相沉积系统,该系统适用于多种材料体系薄膜的制备,如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及一些金属电极,如SiO2,ITO,Al,Ni,Ti等,尤其是剥离工艺(lift-off process)。 电子束蒸发系统是半导体器件制备工艺中不可缺少的仪器设备。本项目根据实际科研需求计划采购一台子束蒸发台。 |
预计采购时间: | 2024-10 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。