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历史招中标信息16155条
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一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：****点击查看
原公告的采购项目名称：****点击查看湿法工艺台
首次公告日期：2025年8月4日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
我公司现对****点击查看湿法工艺台招标文件做出如下更正。此次更正为招标文件的组成部分，具有同等效力。更正内容与招标文件不同之处，按本次更正内容执行。
项目更正内容如下：
1.现对采购需求中“3.2.5后道-光刻工艺台”技术参数进行调整，调整后的技术参数如下：
| 3.2.5后道-光刻工艺台 | |
| 1.主要功能 | 涂胶、显影，需适配4英寸晶圆或对应光刻掩膜版。需整片能够正常涂胶显影。 |
| 2.★电力 | 额定电压380 V，额定功率≤2 kW； |
| 3.★尺寸 | 内宽：>2250 mm； 加柜子外宽<3000 mm； 外深：1300-1500 mm；（所有工艺台的外深应统一） 内深：1200-1400 mm； 外高：能够运入2400 mm高的通道 |
| 4.可稳定维持温度范围 | 热板可维持室温-300℃ |
| 5.★匀胶机、显影机、热板 | 3*旋涂匀胶机、1*喷淋匀胶机、4*热板、1*HMDS箱，留出显影空间和清洗空间 |
| 6.配件柜配置 | 须配置一个尺寸为高2m-2.3m，宽40cm-60cm，深50cm-70cm的配件柜。 |
| 7.计时器配置 | 须配置一个精确到秒的计时器 |
| 8.★废液排放（原液废料） | 有机排、碱排到厂务；所有厂务排放均向下（到地面） |
| 9.★废液收集口 | 有机（含TMAH，连到有机排）、KOH（连到碱排） |
| 10.★废水（废液+大量水）排放 注：和废液不同 | 一般排、有机排、碱排到厂务（一般排水：不含有害化学品的废水30 CMH，其余2.4 CMH）；所有厂务排放均向下（到地面） |
| 11.★废气排放 | 有机排、碱排、热排到厂务（每种800 CMH）；所有厂务排放均向下（到地面） |
| 12.台面材质 | 实心，防有机（不锈钢） |
| 13.空白台面 | 需要 |
| 14.★厂务DI、N2、市政水、工艺真空需求 | DI：可适应0.3barg，可适应最大流量70L/min，可适应平均流量0-35L/min； N2：可适应最大流量800SLPM； 所有**接口均向下（到地面） |
三、其他补充事宜
无
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：****点击查看
地 址：**市**路96号
联系方式：宣老师、沈老师 0551-****点击查看2706
2.采购代理机构信息
名 称：****点击查看
地 址：**市紫云路888号
联系方式：应急客服电话：0551-****点击查看0153（接听时间：8:30-12:00,13:30-17:30，节假日除外。潜在供应商应优先拨打项目联系人联系电话，无人接听时再拨打该“应急客服电话”）
3.项目联系方式
项目联系人：刘志凌、张文奇、陈鹏飞（1503室）
电 话：0551-****点击查看1459、****点击查看1460、****点击查看1461、152****点击查看7650
基本情况
上次中标企业: 安徽****公司
潜在竞争对手: 共
28
个, 其中与甲方合作关系紧密的
2 家
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