材料微纳尺寸加工系统

A****点击查看0301 显微镜

1.采购标的名称：材料微纳尺寸加工系统； 2.采购标的需实现的主要功能或者目标： 2.1、 电子光学系统，放大倍数：10X-100000X，电子束分辨率：≤0.9 nm @ 15 kV，≤1.6 nm @ 1 kV； 2.2、离子加工系统 ： 离子源采用镓（Ga）液态金属离子源； 3. 离子束分辨率：≤3.0 nm @ 30kV； 2.3、离子束能量范围： 加速电压：500V-30kV；离子束流范围：1pA-100nA； 2.4、样品台倾斜角度：-4°到﹢70°；****点击查看中心马达驱动样品台；行程：X、Y方向≥100 mm；Z方 向≥50 mm； 2.5、样品台R方向旋转范围：360°； 3. 采购标的数量：1套； 4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限要求：1.提供的产品符合产品制造商原厂的技术指标要求。2.提供产品包装符合相应的国家及地区的法律法规要求、相关国家标准、行业标准、甲方规定的包装要求。