纳米位移台

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实现的主要功能或者目标： 纳米位移台采用超精密运动控制技术，通过集成光、机、电及控制软件等多领域技术来实现单轴或多轴的运动。内部通常由一个或多个压电陶瓷作为驱动，利用柔性铰链技术将压电陶瓷产生的微小位移放大，并通过超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统进行修正、补偿和控制。在闭环控制下，纳米位移台能够实现纳米甚至亚纳米级别的运动分辨率和控制精度。这种高分辨率和精度使得系统能够达到纳米级空间分辨率。 采购标数量：6 采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质量、安全除须满足招标文件中所提的各项要求外，应同时满足国家最新版的规范和标准。要求设备性能稳定、可靠，对相关样品的性能检测结果准确可靠；需无气体泄漏、爆炸、自燃、漏电等安全风险。 合同签订180日内完成供货、安装、调试。安装验收后1年内质保，终身维保。