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申购单主题: | 水冷基片台 | 申购单位: | ****点击查看 | ||||
申购备注: |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
水冷基片台 | 微纳真空 | 定制 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
售后服务 | ****点击查看大学**校区海琴5号楼1026室,提供现场安装。 | ||||||
规格 | 1. 基片台旋转,转速0-25rpm连续可调,转速设定可在人机界面操作;旋转主轴磁流体密封,光控定位,****点击查看中心位置方便取样; 2. 基片台水冷,要求基片背板通冷却循环水强制水冷; 3. 基片台尺寸,要求处理不小于4英寸的基片; 4. 安装:要求现场安装,达到原设备技术指标。 | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
****点击查看 | 8800 | 最低价原则 |