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历史招中标信息35187条
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| 电子束蒸发台（胡武民） | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发台（胡武民） |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:电子束蒸发台（胡武民） 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:1.极限真空：≤2×10-7torr。 2.排气速率：大气至3×10-6torr（@主阀打开≤20分钟）。 3.腔体漏率：≤5×10-5Torr/s(到达极限真空，在室温且无环境加热状态下进行测试)。 4.基板加热：最高温度250℃，温度均匀性250℃±10℃。 5.公自转行星式蒸镀 载片量：120片4英寸片 膜厚均匀性：≤±5%（膜厚5000埃，片内、片间和炉次间均需达到）。 6.单一公转蒸镀 需满足的要求:1.极限真空：≤2×10-7torr。 2.排气速率：大气至3×10-6torr（@主阀打开≤20分钟）。 3.腔体漏率：≤5×10-5Torr/s(到达极限真空，在室温且无环境加热状态下进行测试)。 4.基板加热：最高温度250℃，温度均匀性250℃±10℃。 5.公自转行星式蒸镀 载片量：120片4英寸片 膜厚均匀性：≤±5%（膜厚5000埃，片内、片间和炉次间均需达到）。 6.单一公转蒸镀 |
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | 赣财教指[2025]7号文 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
基本情况
上次中标企业: 南昌****公司
潜在竞争对手: 共
82
个, 其中与甲方合作关系紧密的
17 家
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